อะไรคือบทบาทของเป้าหมายสปัตเตอร์ในการเคลือบสูญญากาศ

การชุบสูญญากาศในการเลือกวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์เป็นปัญหาสำหรับคนในปัจจุบัน เนื่องจากการเคลือบสปัตเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งการพัฒนาทักษะการเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนสามารถกล่าวได้ว่าเป็นข้อมูลใด ๆ เพื่อให้สามารถกำหนดเป้าหมายการเตรียมวัสดุของฟิล์มบางได้ โดยการทิ้งระเบิดด้วยไอออน เนื่องจากโดยการสปัตเตอร์วัสดุเป้าหมายในกระบวนการเคลือบกับชนิดของพื้นผิว มีผลกระทบสำคัญต่อคุณภาพของฟิล์มสปัตเตอร์ ดังนั้น ความต้องการวัสดุเป้าหมายจึงเข้มงวดมากขึ้นที่นี่เราจะเรียนรู้เกี่ยวกับบทบาทของเป้าหมายการสปัตเตอร์ในการเคลือบสุญญากาศร่วมกับบรรณาธิการของ Beijing Relaxation

一、หลักการเลือกและการจำแนกประเภทของวัสดุเป้าหมาย

ในการเลือกวัสดุเป้าหมาย นอกจากควรเลือกการใช้ตัวฟิล์มแล้ว ควรพิจารณาปัญหาต่อไปนี้ด้วย:

ปัญหาที่ 1 ตามข้อกำหนดการใช้งานและประสิทธิภาพของเมมเบรน วัสดุเป้าหมายจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดทางเทคนิคด้านความบริสุทธิ์ เนื้อหาในนิตยสาร ความสม่ำเสมอของส่วนประกอบ ความแม่นยำในการตัดเฉือน และอื่นๆ

ปัญหาที่ 2 วัสดุเป้าหมายควรมีความแข็งแรงเชิงกลที่ดีและมีเสถียรภาพทางเคมีหลังจากการขึ้นรูปฟิล์ม

ปัญหาที่ 3 วัสดุฟิล์มจำเป็นต้องสร้างฟิล์มผสมได้ง่ายโดยใช้ก๊าซปฏิกิริยาเป็นฟิล์มสปัตเตอร์ปฏิกิริยา

ปัญหาที่ 4 จำเป็นต้องกำหนดเป้าหมายและเมทริกซ์ให้มีความแข็งแรง ไม่เช่นนั้น ควรใช้วัสดุฟิล์มที่มีการยึดเกาะที่ดีกับเมทริกซ์ ขั้นแรกให้สปัตเตอร์ฟิล์มด้านล่างเป็นชั้นแรก จากนั้นจึงเตรียมชั้นฟิล์มที่ต้องการ

คำถามที่ 5 เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพของฟิล์ม ยิ่งความแตกต่างระหว่างค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนของเป้าหมายและเมทริกซ์น้อยลงเท่าไรก็ยิ่งดีเท่านั้น เพื่อลดอิทธิพลของความเครียดจากความร้อนของฟิล์มสปัตเตอร์

การเตรียมเป้าหมายที่ใช้กันทั่วไปหลายรายการ

(1) เป้าหมาย cr

โครเมียมเป็นวัสดุฟิล์มสปัตเตอร์ไม่เพียงแต่ง่ายต่อการรวมเข้ากับวัสดุฐานที่มีการยึดเกาะสูง และฟิล์มโครเมียมและออกไซด์ CrQ3 คุณสมบัติทางกล ความต้านทานต่อกรด และเสถียรภาพทางความร้อนจะดีกว่า

Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. ดำเนินธุรกิจหลักใน: เป้าหมายไทเทเนียมเป้าหมายเซอร์โคเนียม, เป้าหมายอลูมิเนียม, เป้าหมายนิกเกิล, เป้าหมายโครเมียม, เป้าหมายทังสเตน, เป้าหมายโมลิบดีนัม, เป้าหมายทองแดง, เป้าหมายซิลิกอน, เป้าหมายไนโอเบียม, เป้าหมายแทนทาลัม, โลหะผสมไทเทเนียม - ซิลิคอน เป้าหมาย, เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียม - ไนโอเบียม, เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียม - ทังสเตน, เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียม - เซอร์โคเนียม, เป้าหมายโลหะผสมนิกเกิล - โครเมียม, เป้าหมายโลหะผสมซิลิกา - อลูมิเนียม, เป้าหมายโลหะผสมนิกเกิล - วานาเดียม, เป้าหมายโลหะผสมโครเมียม - อลูมิเนียม - ซิลิคอน ternary， Ti al si วัสดุเป้าหมายโลหะผสมแบบไตรภาค ใช้กันอย่างแพร่หลายในการตกแต่ง/พื้นผิวแข็งและการเคลือบฟังก์ชั่น กระจกสถาปัตยกรรม จอแบน/ตาแมวแสง การจัดเก็บแสง อิเล็กทรอนิกส์ การพิมพ์ และอาชีพอื่น ๆ