ข้อควรระวังสำหรับเป้าหมายโลหะผสม

1. การเตรียมสปัตเตอร์

สิ่งสำคัญคือต้องรักษาห้องสุญญากาศ โดยเฉพาะระบบสปัตเตอร์ให้สะอาดสารตกค้างใดๆ ที่เกิดจากน้ำมันหล่อลื่น ฝุ่น และการเคลือบก่อนหน้านี้จะสะสมไอน้ำและมลพิษอื่นๆ ซึ่งจะส่งผลโดยตรงต่อระดับสุญญากาศ และเพิ่มความเป็นไปได้ที่จะเกิดความล้มเหลวในการขึ้นรูปฟิล์มการลัดวงจรหรือการอาร์คของเป้าหมาย พื้นผิวฟิล์มหยาบ และปริมาณสารเคมีเจือปนที่มากเกินไป มักเกิดจากห้องสปัตเตอร์ที่ไม่สะอาด ปืนสปัตเตอร์ และเป้าหมายเพื่อให้เป็นไปตามลักษณะองค์ประกอบของสารเคลือบ จำเป็นต้องทำความสะอาดและทำให้แห้งก๊าซสปัตเตอร์ (อาร์กอนหรือออกซิเจน)หลังจากติดตั้งวัสดุพิมพ์ในห้องสปัตเตอร์แล้ว ต้องดึงอากาศออกเพื่อให้ถึงสุญญากาศที่กระบวนการต้องการฝาครอบป้องกันในบริเวณที่มืด ผนังโพรง และพื้นผิวที่อยู่ติดกัน จะต้องได้รับการดูแลให้สะอาดด้วยเมื่อทำความสะอาดห้องสุญญากาศ เราขอแนะนำให้ใช้การพ่นด้วยลูกบอลแก้วเพื่อบำบัดชิ้นส่วนที่มีฝุ่น ร่วมกับการอัดอากาศเพื่อกำจัดสารตกค้างที่สปัตเตอร์ตั้งแต่แรกรอบๆ ห้อง จากนั้นจึงขัดพื้นผิวภายนอกอย่างเงียบ ๆ ด้วยกระดาษทรายที่เคลือบอลูมินาหลังจากขัดกระดาษกอซแล้ว ให้ทำความสะอาดด้วยแอลกอฮอล์ อะซิโตน และน้ำปราศจากไอออนโดยร่วมกันสนับสนุนการใช้เครื่องดูดฝุ่นอุตสาหกรรมเพื่อการทำความสะอาดเสริมเป้าหมายที่ผลิตโดยโลหะ Gaozhan บรรจุในถุงพลาสติกปิดผนึกสุญญากาศ

มีสารป้องกันความชื้นในตัวเมื่อใช้เป้าหมาย โปรดอย่าสัมผัสเป้าหมายด้วยมือโดยตรงหมายเหตุ: เมื่อใช้เป้าหมาย โปรดสวมถุงมือบำรุงรักษาที่สะอาดและไม่มีขุยอย่าสัมผัสเป้าหมายโดยตรงด้วยมือของคุณ

2、 การทำความสะอาดเป้าหมาย

วัตถุประสงค์ของการทำความสะอาดเป้าหมายคือเพื่อขจัดฝุ่นหรือสิ่งสกปรกที่อาจมีอยู่บนพื้นผิวของชิ้นงาน

สามารถทำความสะอาดเป้าหมายที่เป็นโลหะได้ในสี่ขั้นตอน

ขั้นตอนแรกคือทำความสะอาดด้วยผ้านุ่มไม่มีขุยชุบอะซิโตน

ขั้นตอนที่สองจะคล้ายกับขั้นตอนแรกคือการทำความสะอาดด้วยแอลกอฮอล์

ขั้นตอนที่ 3: ทำความสะอาดด้วยน้ำปราศจากไอออนหลังจากล้างด้วยน้ำปราศจากไอออนแล้ว ให้วางเป้าหมายไว้ในเตาอบและทำให้แห้งที่อุณหภูมิ 100 ℃ เป็นเวลา 30 นาที

การทำความสะอาดเป้าหมายออกไซด์และเซรามิกจะต้องดำเนินการด้วย "ผ้าที่ไม่เป็นขุย"

ขั้นตอนที่สี่คือการล้างเป้าหมายด้วยอาร์กอนด้วยแรงดันสูงและก๊าซน้ำต่ำหลังจากกำจัดบริเวณที่มีฝุ่นออกไป เพื่อกำจัดอนุภาคสิ่งเจือปนทั้งหมดที่อาจก่อให้เกิดส่วนโค้งในระบบสปัตเตอร์

3、 อุปกรณ์เป้าหมาย

ในกระบวนการติดตั้งเป้าหมาย ข้อควรระวังที่สำคัญของ Z คือเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเชื่อมต่อการนำความร้อนที่ดีระหว่างเป้าหมายและผนังระบายความร้อนของปืนสปัตเตอร์หากการบิดเบี้ยวของเสาทำความเย็นรุนแรง หรือการบิดเบี้ยวของแผ่นด้านหลังรุนแรง อุปกรณ์เป้าหมายจะแตกหรือโค้งงอ และค่าการนำความร้อนจากเป้าหมายด้านหลังไปยังเป้าหมายจะได้รับผลกระทบอย่างมาก ส่งผลให้การกระจายความร้อนล้มเหลว ในกระบวนการสปัตเตอร์ แล้วเป้าหมายจะแตกหรือพลาด

เพื่อให้แน่ใจว่าการนำความร้อนสามารถบุชั้นของกระดาษกราไฟท์ระหว่างผนังระบายความร้อนแคโทดและชิ้นงานได้โปรดใส่ใจตรวจสอบอย่างรอบคอบและเคลียร์ความเรียบของผนังระบายความร้อนของปืนสปัตเตอร์ริ่งที่ใช้เพื่อให้แน่ใจว่าโอริงอยู่ในตำแหน่งเสมอ

เนื่องจากความสะอาดของน้ำหล่อเย็นที่ใช้และฝุ่นที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการทำงานของอุปกรณ์จะสะสมอยู่ในถังน้ำหล่อเย็นแคโทดจึงจำเป็นต้องตรวจสอบและทำความสะอาดถังน้ำหล่อเย็นแคโทดเมื่อทำการติดตั้งเป้าหมายเพื่อให้มั่นใจว่ามีความราบรื่น การไหลเวียนของน้ำหล่อเย็นและทางเข้าและทางออกจะไม่ถูกปิดกั้น

แคโทดบางตัวได้รับการวางแผนให้มีช่องว่างเล็ก ๆ ที่มีขั้วบวก ดังนั้นเมื่อติดตั้งเป้าหมาย จะต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีการสัมผัสหรือตัวนำระหว่างแคโทดและขั้วบวก มิฉะนั้นจะเกิดไฟฟ้าลัดวงจร

โปรดดูคู่มือผู้ใช้อุปกรณ์สำหรับข้อมูลเกี่ยวกับวิธีการใช้งานเป้าหมายอย่างถูกต้องหากไม่มีข้อมูลดังกล่าวในคู่มือผู้ใช้ โปรดลองติดตั้งอุปกรณ์ตามคำแนะนำที่เกี่ยวข้องของ Gaozhan metalเมื่อขันอุปกรณ์จับยึดเป้าหมาย ให้ขันโบลต์หนึ่งตัวด้วยมือให้แน่นก่อน จากนั้นจึงขันโบลต์อีกตัวในแนวทแยงด้วยมือทำซ้ำจนกระทั่งสลักเกลียวทั้งหมดบนอุปกรณ์แน่นแล้วจึงขันด้วยบางสิ่งให้แน่น

4、 การตรวจสอบการลัดวงจรและความรัดกุม

หลังจากเสร็จสิ้นอุปกรณ์เป้าหมายแล้ว จะต้องตรวจสอบการลัดวงจรและความแน่นของแคโทดทั้งหมด

เสนอให้ตรวจสอบว่ามีการลัดวงจรในแคโทดหรือไม่โดยใช้เครื่องวัดความต้านทาน

การเลือกปฏิบัติแถวหลังจากยืนยันว่าไม่มีการลัดวงจรในแคโทด จะสามารถตรวจจับการรั่วไหลได้ และสามารถนำน้ำเข้าไปในแคโทดเพื่อยืนยันว่ามีน้ำรั่วหรือไม่

5、 กำหนดเป้าหมายก่อนสปัตเตอร์

การสปัตเตอร์แบบกำหนดเป้าหมายล่วงหน้าสนับสนุนการสปัตเตอร์อาร์กอนบริสุทธิ์ ซึ่งสามารถทำความสะอาดพื้นผิวของเป้าหมายได้เมื่อเป้าหมายถูกสปัตเตอร์ล่วงหน้า แนะนำให้เพิ่มกำลังสปัตเตอร์อย่างช้าๆ และอัตราการเพิ่มพลังงานของเป้าหมายเซรามิกคือ 1.5WH / cm2ความเร็วก่อนการสปัตเตอร์ของเป้าหมายโลหะอาจสูงกว่าความเร็วของบล็อกเป้าหมายเซรามิก และอัตราการเพิ่มพลังงานที่เหมาะสมคือ 1.5WH / cm2

ในกระบวนการก่อนการสปัตเตอร์ เราต้องตรวจสอบความโค้งของเป้าหมายโดยทั่วไปเวลาก่อนสปัตเตอร์จะอยู่ที่ประมาณ 10 นาทีหากไม่มีปรากฏการณ์อาร์ค ให้เพิ่มพลังสปัตเตอร์อย่างต่อเนื่อง

ไปจนถึงกำลังที่ตั้งไว้ตามประสบการณ์ พลังสปัตเตอร์ Z สูงที่ยอมรับได้ของเป้าหมายโลหะคือ

25วัตต์/ซม.2, 10วัตต์/ซม.2 สำหรับชิ้นงานเซรามิกโปรดดูพื้นฐานการตั้งค่าและประสบการณ์ของแรงดันในห้องสุญญากาศระหว่างการสปัตเตอร์ในคู่มือการใช้งานระบบของผู้ใช้โดยทั่วไปควรตรวจสอบให้แน่ใจว่าอุณหภูมิของน้ำที่ทางออกของน้ำหล่อเย็นควรต่ำกว่า 35 ℃ แต่ Z สิ่งสำคัญคือต้องแน่ใจว่าระบบหมุนเวียนของน้ำหล่อเย็นสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ

การหมุนเวียนอย่างรวดเร็วของน้ำที่มีความเย็นยิ่งยวดจะช่วยขจัดความร้อน ซึ่งเป็นการรับประกันที่สำคัญเพื่อให้แน่ใจว่าจะมีการสปัตเตอร์อย่างต่อเนื่องด้วยกำลังสูงสำหรับชิ้นงานที่เป็นโลหะ โดยทั่วไปแนะนำให้มีการไหลของน้ำหล่อเย็น

แรงดันน้ำ 20lpm ประมาณ 5gmp;สำหรับชิ้นงานที่เป็นเซรามิก โดยทั่วไปแนะนำให้มีการไหลของน้ำที่ 30 ลิตรต่อนาที และแรงดันน้ำอยู่ที่ประมาณ 9gmp

6、 การบำรุงรักษาเป้าหมาย

เพื่อป้องกันการลัดวงจรและการโค้งที่เกิดจากช่องที่ไม่สะอาดในกระบวนการสปัตเตอร์ จำเป็นต้องเอาสปัตเตอร์ที่สะสมอยู่ตรงกลางและทั้งสองด้านของแทร็กสปัตเตอร์ออกเป็นระยะ

นอกจากนี้ยังช่วยให้ผู้ใช้สปัตเตอร์อย่างต่อเนื่องที่ความหนาแน่นของพลังงานสูง z

7、 พื้นที่เก็บข้อมูลเป้าหมาย

เป้าหมายที่โลหะ Gaozhan มอบให้นั้นบรรจุในถุงพลาสติกสูญญากาศสองชั้นเราสนับสนุนให้ผู้ใช้เก็บเป้าหมาย ไม่ว่าจะเป็นโลหะหรือเซรามิก ไว้ในบรรจุภัณฑ์สุญญากาศโดยเฉพาะอย่างยิ่ง เป้าหมายการติดกาวจะต้องจัดเก็บไว้ภายใต้สภาวะสุญญากาศ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันของชั้นการติดกาวไม่ให้ส่งผลกระทบต่อคุณภาพการติดกาวในส่วนของการบรรจุเป้าหมายที่เป็นโลหะ เราสนับสนุนให้บรรจุ Z ในถุงพลาสติกที่สะอาด