ผู้ใช้จำนวนมากไม่ได้พิจารณาการซื้อเป้าหมายจากมุมมองแบบมืออาชีพ ดังนั้นสิ่งที่ควรคำนึงถึงเมื่อซื้อเป้าหมายลองขอให้ Xiaobian แห่ง Beijing Ruichi ชี้ให้เห็นถึงเรื่องที่ต้องให้ความสนใจเมื่อซื้อเป้าหมาย
ประการแรก สำหรับเป้าหมาย ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในตัวบ่งชี้การทำงานหลัก และความบริสุทธิ์ของชิ้นงานมีผลกระทบอย่างมากต่อการทำงานของฟิล์มผลิตภัณฑ์รุ่นหลังแต่ละผลิตภัณฑ์ยังมีข้อกำหนดที่แตกต่างกันสำหรับความบริสุทธิ์ของเป้าหมาย
ประการที่สอง เนื้อหาที่ไม่บริสุทธิ์ของแต่ละองค์ประกอบในเป้าหมายหลังจากการประมวลผลเป้าหมายหลายครั้ง สิ่งเจือปนในของแข็งเป้าหมายและออกซิเจนและไอน้ำในรูขุมขนเป็นแหล่งมลพิษหลักของฟิล์มที่สะสมอยู่เนื่องจากการใช้เป้าหมายที่แตกต่างกัน ข้อกำหนดสำหรับเนื้อหาสิ่งเจือปนที่แตกต่างกันของเป้าหมายที่มีการใช้งานต่างกันจึงแตกต่างกันเช่นกันตัวอย่างเช่น เป้าหมายอะลูมิเนียมบริสุทธิ์และโลหะผสมอะลูมิเนียมที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ขณะนี้มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับปริมาณโลหะอัลคาไลและธาตุกัมมันตภาพรังสี
ความหนาแน่นยังเป็นหนึ่งในดัชนีประสิทธิภาพที่สำคัญของเป้าหมาย ในกระบวนการทางเทคนิคของเป้าหมาย เพื่อลดรูขุมขนในเป้าหมายที่เป็นของแข็งและปรับปรุงการทำงานของฟิล์มสปัตเตอร์ โดยทั่วไปเป้าหมายจะต้องมีความหนาแน่นสูงความหนาแน่นลักษณะเฉพาะหลักของชิ้นงานมีอิทธิพลอย่างมากต่ออัตราการสปัตเตอร์ และส่งผลต่อฟังก์ชันทางไฟฟ้าและทางแสงของฟิล์มยิ่งความหนาแน่นของเป้าหมายสูงเท่าใด ฟังก์ชั่นของฟิล์มก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น
สุดท้ายคือขนาดเมล็ดข้าวและการกระจายตัวของเมล็ดข้าวโดยปกติแล้ว วัสดุเป้าหมายจะเป็นโพลีคริสตัลไลน์ และขนาดเกรนอาจมีตั้งแต่ไมครอนไปจนถึงมิลลิเมตรสำหรับเป้าหมายเดียวกัน อัตราการสปัตเตอร์ของเป้าหมายเกรนละเอียดจะเร็วกว่าเป้าหมายเกรนหยาบความหนาของฟิล์มที่สะสมโดยการสปัตเตอร์เป้าหมายที่มีขนาดเกรนต่างกันเล็กน้อย (การกระจายตัวสม่ำเสมอ) จะมีความสม่ำเสมอมากกว่า
เวลาโพสต์: 10 มิ.ย.-2022