จะปรับปรุงอัตราการใช้วัสดุเป้าหมายโมลิบดีนัมได้อย่างไร

เป้าหมายโมลิบดีนัมสปัตเตอร์ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซลล์แสงอาทิตย์ การเคลือบแก้ว และสาขาอื่นๆ เนื่องจากมีข้อได้เปรียบโดยธรรมชาติด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของเทคโนโลยีสมัยใหม่ในการย่อขนาด การบูรณาการ การแปลงเป็นดิจิทัล และความฉลาด การใช้เป้าหมายโมลิบดีนัมจะยังคงเพิ่มขึ้น และข้อกำหนดด้านคุณภาพสำหรับเป้าหมายเหล่านั้นก็จะสูงขึ้นเช่นกันดังนั้นเราจึงต้องหาทางปรับปรุงอัตราการใช้เป้าหมายโมลิบดีนัมตอนนี้ บรรณาธิการของ RSM จะแนะนำวิธีการต่างๆ มากมายเพื่อปรับปรุงอัตราการใช้เป้าหมายโมลิบดีนัมสปัตเตอร์สำหรับทุกคน

1. เพิ่มขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าที่ด้านหลัง

เพื่อปรับปรุงอัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายโมลิบดีนัมสปัตเตอร์ สามารถเพิ่มขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าที่ด้านหลังของเป้าหมายโมลิบดีนัมแมกนีตรอนระนาบ และสนามแม่เหล็กบนพื้นผิวของเป้าหมายโมลิบดีนัมสามารถเพิ่มได้โดยการเพิ่มกระแสของ ขดลวดแม่เหล็กไฟฟ้าเพื่อปรับปรุงอัตราการใช้ของเป้าหมายโมลิบดีนัม

2. เลือกวัสดุเป้าหมายที่หมุนแบบท่อ

เมื่อเปรียบเทียบกับชิ้นงานแบบแบน การเลือกโครงสร้างเป้าหมายแบบหมุนแบบท่อจะเน้นย้ำถึงข้อได้เปรียบที่สำคัญของมันโดยทั่วไป อัตราการใช้งานของเป้าหมายแบบแบนจะอยู่ที่ 30% ถึง 50% เท่านั้น ในขณะที่อัตราการใช้ของเป้าหมายที่หมุนแบบท่อสามารถเข้าถึงได้มากกว่า 80%ยิ่งไปกว่านั้น เมื่อใช้เป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบท่อกลวงที่หมุนได้ เนื่องจากเป้าหมายสามารถหมุนไปรอบ ๆ ชุดประกอบแม่เหล็กแท่งคงที่ได้ตลอดเวลา จะไม่มีการวางตำแหน่งใหม่บนพื้นผิว ดังนั้นอายุการใช้งานของเป้าหมายที่หมุนโดยทั่วไปจึงนานกว่า 5 เท่า มากกว่าเป้าหมายเครื่องบิน

3. เปลี่ยนอุปกรณ์สปัตเตอร์ใหม่

กุญแจสำคัญในการปรับปรุงอัตราการใช้วัสดุเป้าหมายคือการเปลี่ยนอุปกรณ์สปัตเตอร์ให้เสร็จสิ้นในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์ของวัสดุเป้าหมายการสปัตเตอร์โมลิบดีนัม ประมาณหนึ่งในหกของอะตอมสปัตเตอร์จะสะสมอยู่บนผนังห้องสุญญากาศหรือฉากยึดหลังจากถูกไอออนไฮโดรเจน ส่งผลให้ค่าใช้จ่ายในการทำความสะอาดอุปกรณ์สุญญากาศและเวลาหยุดทำงานเพิ่มขึ้นดังนั้นการเปลี่ยนอุปกรณ์สปัตเตอร์ใหม่จึงสามารถช่วยปรับปรุงอัตราการใช้เป้าหมายโมลิบดีนัมสปัตเตอร์ได้