ผลของเป้าหมายสปัตเตอร์และเป้าหมายอะลูมิเนียม

เป้าหมายสปัตเตอร์คือวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ที่สร้างฟิล์มบางๆ โดยการติดสาร เช่น โลหะผสมหรือโลหะออกไซด์เข้ากับสารตั้งต้นอิเล็กทรอนิกส์ในระดับอะตอมในบรรดาเป้าหมายเหล่านี้ เป้าหมายการสปัตเตอร์สำหรับฟิล์มทำให้สีดำคล้ำนั้นถูกใช้เพื่อสร้างฟิล์มบนแผง EL อินทรีย์หรือคริสตัลเหลว เพื่อทำให้สายไฟดำคล้ำ และลดการสะท้อนแสงที่มองเห็นได้ (การสะท้อนแสงต่ำ) ของสายไฟ TFTเป้าหมายสปัตเตอร์มีข้อดีและผลกระทบดังต่อไปนี้เมื่อเปรียบเทียบกับผลิตภัณฑ์รุ่นก่อนๆ ช่วยปรับปรุงความละเอียดในระดับสูงและอิสระในการออกแบบของจอแสดงผลต่างๆ และลดเสียงรบกวนที่เกิดจากการสะท้อนแสงของสายไฟของผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์

　　ข้อดีและผลกระทบของเป้าหมายอลูมิเนียม:

(1) หลังจากสร้างเป้าหมายอะลูมิเนียมบนสายไฟแล้ว แสงที่มองเห็นได้จะลดลง

เมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์รุ่นก่อนๆ จะสามารถสะท้อนแสงได้ต่ำ

(2) DC sputtering สามารถทำได้โดยไม่ต้องใช้ก๊าซปฏิกิริยา

เมื่อเทียบกับผลิตภัณฑ์ก่อนหน้านี้ การตระหนักถึงความสม่ำเสมอของฟิล์มของซับสเตรตขนาดใหญ่จะเป็นประโยชน์มาก

(3) หลังจากสร้างฟิล์มแล้ว กระบวนการแกะสลักสามารถดำเนินการร่วมกับการเดินสายไฟได้

ปรับวัสดุตามกระบวนการแกะสลักที่มีอยู่ของลูกค้า และสามารถกัดร่วมกับการเดินสายไฟได้โดยไม่ต้องเปลี่ยนกระบวนการที่มีอยู่นอกจากนี้บริษัทยังจะให้การสนับสนุนตามเงื่อนไขการสปัตเตอร์ของลูกค้าอีกด้วย

(4) ทนความร้อน น้ำ และด่างได้ดีเยี่ยม

นอกจากกันน้ำและทนด่างแล้วยังมีทนความร้อนสูง ดังนั้นลักษณะของฟิล์มจะไม่เปลี่ยนแปลงในกระบวนการแปรรูปสายไฟ TFT