ความแตกต่างระหว่างการเคลือบแบบระเหยและการเคลือบแบบสปัตเตอร์

ดังที่เราทุกคนทราบกันดีว่าวิธีการที่ใช้กันทั่วไปในการเคลือบสุญญากาศคือการคายสูญญากาศและการสปัตเตอร์ไอออนอะไรคือความแตกต่างระหว่างการเคลือบคายและการเคลือบสปัตเตอร์ประชากร มีคำถามดังกล่าวเรามาแบ่งปันความแตกต่างระหว่างการเคลือบคายน้ำและการเคลือบสปัตเตอริงกันดีกว่า

ฟิล์มคายสูญญากาศคือการให้ความร้อนข้อมูลที่จะคายออกมาจนถึงอุณหภูมิคงที่โดยการให้ความร้อนด้วยความต้านทานหรือลำแสงอิเล็กตรอนและการปอกเปลือกด้วยเลเซอร์ในสภาพแวดล้อมที่มีระดับสุญญากาศไม่ต่ำกว่า 10-2Pa เพื่อให้พลังงานการสั่นสะเทือนความร้อนของโมเลกุลหรือ อะตอมในข้อมูลมีพลังงานเกินกว่าพลังงานยึดเหนี่ยวของพื้นผิว ดังนั้นโมเลกุลหรืออะตอมจำนวนมากจึงคายหรือเพิ่มขึ้น และสะสมไว้บนพื้นผิวโดยตรงเพื่อสร้างฟิล์มการเคลือบไอออนสปัตเตอร์ใช้การเคลื่อนที่สะท้อนกลับสูงของไอออนบวกที่เกิดจากการปล่อยก๊าซภายใต้ผลกระทบของสนามไฟฟ้าเพื่อโจมตีเป้าหมายในฐานะแคโทด เพื่อให้อะตอมหรือโมเลกุลในเป้าหมายหลบหนีและสะสมบนพื้นผิวของชิ้นงานที่ชุบเพื่อก่อตัว ภาพยนตร์ที่ต้องการ

วิธีการเคลือบสูญญากาศที่ใช้กันมากที่สุดคือวิธีการให้ความร้อนด้วยความต้านทานข้อดีคือโครงสร้างแหล่งทำความร้อนที่เรียบง่าย ต้นทุนต่ำ และการทำงานที่สะดวกข้อเสียคือไม่เหมาะกับโลหะทนไฟและตัวกลางทนอุณหภูมิสูงการทำความร้อนด้วยลำแสงอิเล็กตรอนและการให้ความร้อนด้วยเลเซอร์สามารถเอาชนะข้อเสียของการให้ความร้อนด้วยความต้านทานได้ในการให้ความร้อนด้วยลำอิเล็กตรอน ลำแสงอิเล็กตรอนที่โฟกัสจะถูกใช้เพื่อให้ความร้อนกับข้อมูลที่หุ้มไว้โดยตรง และพลังงานจลน์ของลำอิเล็กตรอนจะกลายเป็นพลังงานความร้อนเพื่อทำให้ข้อมูลคายออกมาการทำความร้อนด้วยเลเซอร์ใช้เลเซอร์กำลังสูงเป็นแหล่งความร้อน แต่เนื่องจากเลเซอร์กำลังสูงมีราคาสูง จึงสามารถใช้ได้ในห้องปฏิบัติการวิจัยจำนวนไม่มากเท่านั้น

ทักษะการสปัตเตอร์แตกต่างจากทักษะการคายน้ำแบบสุญญากาศสปัตเตอร์ริ่งหมายถึงปรากฏการณ์ที่อนุภาคที่มีประจุกระหน่ำกลับสู่พื้นผิว (เป้าหมาย) ของร่างกาย เพื่อให้อะตอมหรือโมเลกุลที่เป็นของแข็งถูกปล่อยออกมาจากพื้นผิวอนุภาคที่ปล่อยออกมาส่วนใหญ่เป็นอะตอม ซึ่งมักเรียกว่าอะตอมสปัตเตอร์อนุภาคสปัตเตอร์ที่ใช้สำหรับเป้าหมายการปอกเปลือกอาจเป็นอิเล็กตรอน ไอออน หรืออนุภาคที่เป็นกลางเนื่องจากไอออนสามารถได้รับพลังงานจลน์ที่ต้องการภายใต้สนามไฟฟ้าได้ง่าย ไอออนส่วนใหญ่จึงถูกเลือกให้เป็นอนุภาคของเปลือกหอย

กระบวนการสปัตเตอร์จะขึ้นอยู่กับการปล่อยแสง นั่นคือไอออนสปัตเตอร์มาจากการปล่อยก๊าซทักษะการสปัตเตอร์ที่แตกต่างกันมีวิธีการปล่อยแสงที่แตกต่างกันการสปัตเตอร์ไดโอด DC ใช้การปล่อยแสง DC;การสปัตเตอร์แบบไตรโอดเป็นการคายประจุแบบเรืองแสงที่ได้รับการสนับสนุนจากแคโทดร้อนRF สปัตเตอร์ใช้การปล่อยแสง RF;แมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่งเป็นการปล่อยแสงที่ควบคุมโดยสนามแม่เหล็กรูปวงแหวน

เมื่อเปรียบเทียบกับการเคลือบคายสูญญากาศ การเคลือบสปัตเตอร์มีข้อดีหลายประการหากสารใดสามารถสปัตเตอร์ได้ โดยเฉพาะธาตุและสารประกอบที่มีจุดหลอมเหลวสูงและความดันไอต่ำการยึดเกาะระหว่างฟิล์มสปัตเตอร์กับซับสเตรตนั้นดีความหนาแน่นของฟิล์มสูงสามารถควบคุมความหนาของฟิล์มได้และสามารถทำซ้ำได้ดีข้อเสียคืออุปกรณ์มีความซับซ้อนและต้องใช้อุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูง

นอกจากนี้ การผสมผสานระหว่างวิธีการคายน้ำและวิธีสปัตเตอร์ริ่งคือการชุบไอออนข้อดีของวิธีนี้คือการยึดเกาะที่แข็งแกร่งระหว่างฟิล์มกับซับสเตรต อัตราการสะสมตัวสูง และความหนาแน่นของฟิล์มสูง